半导体工业数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
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https://nbsdc.cn/general/dataDetail?id=67424158195d262b8b446b46&type=1
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资源简介：
本数据集来自半导体生产线的实时监控数据。数据包含半导体特征数据、质量预测数据，旨在支持故障检测与生产质量控制系统的开发和应用。根据不同的数据库表，创建传感器数据和生产结果两类数据的data格式数据文件，并根据数据库表的字段信息，完善半导体的具体特征。
提供机构：
山东省计算中心（国家超级计算济 南中心）
