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双腔比对折射率法测定气体压力

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搭建了基于气体折射率方法的气体压力测量装置, 测量区间为 10—100 kPa, 采用双腔比对方法对装置 进行了检验. 通过将两个真空腔体分别控温, 并且真空连通, 保证了两个腔内气体压力相同. 以高纯氮气 (6N) 为气体介质, 在不同气体压力条件下, 得到了双腔对比测量的初步结果. 结果显示, 基于光学方法的气体 折射率压力计重复度高于 30 × 10–6, 显著好于商用电容式薄膜压力计, 说明该方法具有很大潜力. 本文还分 析了测量中的误差来源, 并计划通过改进系统设计以提高测量精度.

创建时间:
2023-05-23
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