碳化硅光机构件面形精度及稳定性检测数据集

数据内容： 本数据集主要包含反射镜光学加工后的初始面形数据，以及在微重力环境模拟、正弦和随机振动试验前后的面形变化数据。此外还包含长达6个月的时效稳定性监测数据，记录了面形精度形状及RMS值的演变情况。数据对应指标2.2中面形精度≤λ/40的考核要求。 采集方案： 原始数据由中国科学院上海技术物理研究所采用激光干涉仪获得，测试精度由西安应用光学研究所校准，并通过了CNAS认证。时效稳定性采用固定周期监测法，记录干涉仪生成的DAT及JPG文件。所有数据采集时间为2021年12月-2025年11月。数据的采集设备均按照校准规范，检测规范，使用说明书等制定数据收集指导规程。采集的原始数据使用设备配套数据处理软件进行数据预处理，然后形成相应的数据集。原始图表有Dat、Word、JPG、PDF等格式文件组成，后经Photoshop、PPt等软件整理并绘制完成。 时间及地点： 2024.03-2025.11，中国科学院上海技术物理研究所。 设备情况： 激光干涉仪ZYGO Verifire MST、三坐标测量仪Zeiss Prismo ultra。 仪器使用过程中主要参照设备使用手册所规定的标准操作方法，仪器设备使用参数参照材料制备与检测相关的国家标准（GB∕T 2831、GB/T 34522、GB/T 34516），数据质量保障主要由上述数据上传单位质量管理部门按照各单位质量管理相关规定监督执行。