柔性铜铟镓硒器件中衬底元素扩散阻挡层设计开发数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2024-03-05 收录
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https://www.nbsdc.cn/general/dataDetail?id=64edc794bb16e07753c34c53&type=1
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资源简介：
本数据集研究了柔性铜铟镓硒器件中的衬底元素扩散阻挡层设计开发。通过在不锈钢衬底上，采用磁控溅射设备分别制备不同Ar:N2比的MoN薄膜、不同掺氧量的Mo(N, O) 薄膜和不同厚度的Al2O3薄膜作为阻挡层，对阻挡层薄膜进行形貌和结构表征，记录了成分深度剖析测试数据、原子力显微镜（AFM）测试数据、扫描电子显微镜（SEM）测试数据、X射线衍射（XRD）测试数据、X射线光电子能谱（XPS）测试数据、电流-电压（I-V）测试数据。
提供机构：
中国科学院深圳先进技术研究院
