硅纳米线结构制造及测试结果分析数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2024-03-05 收录
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资源简介：
硅纳米线尺寸主要通过结构设计和工艺攻关得到极细尺寸的纳米尺度线条。委托上海市计量测试技术研究院，通过SEM扫描电镜对硅纳米线尺寸的宽度进行了测量。
提供机构：
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
