微细水射流引导激光加工实验装置及晶硅表面加工性能的数据
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
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资源简介：
该数据集系统记录了微细水射流引导激光加工实验装置的设计与晶硅表面加工性能测试的全过程数据，包含仿真数据、实验测试记录、图像数据及相关性能指标，涵盖水射流参数、激光参数、表面形貌分析和加工性能评估等多方面内容，并辅以2个实验报告、4篇论文和6个专利数据，数据容量约10GB，全面展示了该技术在晶硅表面加工中的应用效果和优化潜力。
提供机构：
浙江工业大学
搜集汇总
数据集介绍
背景与挑战
背景概述
该数据集系统记录了微细水射流引导激光加工实验装置的设计与晶硅表面加工性能测试的全过程数据，包含仿真、实验记录、图像及性能指标等多方面内容。数据容量约10GB，辅以相关报告、论文和专利，全面展示了该技术在晶硅表面加工中的应用效果和优化潜力。
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