MEMS声发射传感器阵元版图仿真设计数据

本数据集源于课题三研究内容1-“高灵敏度、宽频段MEMS压电式薄膜传感器阵元设计”过程中产生的设计仿真数据资源。采用COMSOL仿真，输出仿真数据文件。① 根据课题研究目标及研究内容开展高灵敏度、宽频段MEMS声发射传感器芯片阵元设计，在COMSOL软件中搭建仿真环境，开展微元振动模态、微元应力分布及阵元灵敏度仿真，输出仿真数据文件。② 基于仿真设计，按照提出的声发射传感器芯片阵元设计方案，开展圆形及六边形微元的阵元设计，输出版图原文件，用于后续MEMS声发射传感器芯片的制造。数据集内容包括：MEMS声发射传感器仿真设计源文件、阵元仿真数据。