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一种金刚石薄膜沉积设备

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中国科学院中国科学技术大学科学数据中心2026-01-10 收录
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https://sdc.ustc.edu.cn/dataDetails/hbUaOJYBQwfvTVc53uOe
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资源简介:
本申请公开了一种金刚石薄膜沉积设备, 包括箱体和驱动机构;驱动机构设置在所述箱体上;箱体内设有覆膜区和加热区,且所述覆膜区和加热区通过通风板相间隔;加热区设有两个固定杆、连接板、热丝;两个固定杆沿垂直方向固定在箱体的加热区内,两个固定杆平行设置;所述连接板的两端分别与所述固定杆滑动连接,连接板与箱体的底面平行。本申请公开的设备可调节热丝的数量,在不同情况下进行覆膜时,能够降低生产成本,从而提高生产效率,并且能够进行均匀加热,提高覆膜效率。
提供机构:
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
创建时间:
2023-05-23
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