外延薄膜高均匀性修整测试数据集

本数据集主要面向薄膜外延加工工艺研究需求建设，由课题承担单位华南理工大学、发光材料与器件国家重点实验室和广州艾佛光通科技有限公司基于原子力电子显微镜以及椭圆偏振测量仪从2022年到2025年采集产出，主要记录了薄膜外延离子束刻蚀前后的厚度分布、实际厚度测量数据以及计算的厚度均匀性数据，包含第三方检测报告、厚度分布实测数据及均匀性计算数据包含pdf、xlsx格式；表面形貌原始FLT数据及png图片，数据体量 102.22MB。