Patent AT-E400006-T1: [Translated] CASCADED CONTROL OF AN AVERAGE VALUE OF A PROCESS PARAMETER TO A DESIRED VALUE
收藏data.gov2025-12-20 收录
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At least one of the multiple process parameters (MPPs) is a controllable process parameter (CTPP) and one is a targeted process parameter (TPP). The process also has...
多工艺参数（multiple process parameters，MPPs）中至少存在一个可控工艺参数（controllable process parameter，CTPP）与一个目标工艺参数（targeted process parameter，TPP），且该工艺还具备……
