四探针电阻率测试仪

电阻率测试仪是用来测量半导体材料及工艺硅片的电阻率、或扩散层及外延层方块电阻的测量仪器，它主要由电气部份和探头部份组成，电气部份一般包括稳流源、数字电压表、换向开关等仪器。探头部份一般包括探针架、探针头和样品台。工艺生产上用的四探针仪器一般可以用Ⅰ级标准硅单晶电阻率样片来检定或校准。 为了向华东地区和上海市提供公正准确权威的四探针电阻率测试仪的第三方校准数据，特开展此项目。