MEMS阵列触觉敏感元件设计、制备工艺和性能测试
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-02-07 收录
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资源简介：
本数据集中的数据来自MEMS阵列触觉敏感元件结构尺寸和电学性能设计优化、基于MEMS技术的阵列触觉敏感元件晶圆级制备工艺迭代、小量程触觉测试系统搭建和敏感元件性能测试。包括优化设计仿真数据、制备工艺流程图、小量程测试系统图纸、实验研究原始记录数据、图表、核查报告、实验研究原始记录数据、图表、第三方测试报告及指标对应的论文和专利。
提供机构：
杭州电子科技大学
