2英寸AlN衬底晶体质量稳定控制数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-04-04 收录
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https://nbsdc.cn/general/dataDetail?id=69cd4133f17560281a74acad&type=1
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资源简介：
数据集包含2英寸AlN单晶衬底量产化生长工艺的质量控制技术优化过程中的模拟仿真数据以及表征测试结果数据以及2英寸AlN衬底晶体质量稳定控制过程以及AlN衬底直径、位错密度等关键指标。
提供机构：
深圳大学
