科技报告-项目结题总结报告-自由曲面面形干涉测量技术研究

本项目针对成像光学系统自由曲面高精度、高分辨率检测需求，力求解决检测理论与建模以及检测技术研究问题，其难点在于高分辨率自由曲面干涉检测系统原理突破、短相干外差技术突破、自由曲面面形重构。重点完成了高分辨率自由曲面干涉检测技术理论与模型研究、高分辨率自由曲面干涉检测系统方案研究、高分辨率自由曲面干涉检测设备系统研制与测试方法研究等研究内容；解决了短相干外差移相光源技术、高分辨率自由曲面非零位干涉检测光学系统设计、基于外差移相的自由曲面重构技术等关键问题。