光栅需求分析及微结构设计研究数据

对光栅的性能需求进行系统性分析，结合微纳加工工艺特点，对不同线密度（1200线、1320线、1400线和1480线）、不同微结构形状（弦形、三角形）、不同结构参数（占空比、槽深和形貌因子）和不同nk值金属膜的金属光栅衍射效率进行了仿真分析。数据集主要包括随光栅的线密度、槽深、占空比、入射角等核心设计参数变化的衍射效率数据和规律分析数据。该数据集可为光栅的理论研究、工艺优化及实际应用提供重要的数据支撑，有助于推动相关领域的技术发展。