高频振动传感器加工版图设计数据
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-05-16 收录
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资源简介：
高频振动传感器加工版图设计数据主要面向高频振动传感器研究，基于L-Edit绘制，记录了高频振动传感器芯片加工版图设计过程中产生的数据，汇总了振动传感器芯片加工过程中涉及的多张版图，以表格的形式给出了版图明细和对准关系清单。
提供机构：
西安交通大学
