Ir/YSZ单晶薄膜衬底可控制备研究数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
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资源简介：
Ir/YSZ单晶薄膜衬底可控制备研究数据集作为异质外延单晶金刚石膜过程所必需的典型数据集，拥有大量高取向Ir膜制备过程真实数据。主要包含外延衬底、沉积工艺参数对Ir膜制备的影响数据、薄膜表面和界面热应力分布的有限元模拟数据、Ir基多层衬底的活性层结构设计研究数据、大尺寸Ir基衬底的制备研究数据等5个数据文件，共184 MB，为异质外延大尺寸高质量单晶金刚石膜提供了数据支持和坚实基础，具有重要的学术和应用价值。
提供机构：
太原理工大学
