NbTiN film data

NbTiN data for different deposition conditions. Data include, Tc, resistivity, film thickness, deposition power, Ar flow, N2 flow, Nb content, Ti content and N content针对不同沉积工艺条件的氮化铌钛（NbTiN）数据集。该数据集涵盖临界转变温度（Tc）、电阻率、薄膜厚度、沉积功率、氩气流量（Ar）、氮气流量（N₂）、铌含量（Nb）、钛含量（Ti）以及氮含量（N）。