MRAM器件基于的工艺平台数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-03-28 收录
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https://nbsdc.cn/general/dataDetail?id=69bec093bb16e02c49cd82e3&type=1
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资源简介：
该数据集包含为证明MRAM芯片的工艺平台数据，包含晶圆进行透射电镜（TEM）测试，根据TEM量测CMOS的栅极长度确定工艺节点，辅以流片合同进行佐证。
提供机构：
浙江驰拓科技有限公司
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