A mechanical and modelling study of magnetron sputtered cerium-titanium oxide film coatings on Si (100)

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Digital Science - Figshare2026-03-27 更新2026-03-28 收录

薄膜涂层力学性能

磁控溅射制备

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A mechanical and modelling study of magnetron sputtered cerium-titanium oxide film coatings on Si (100)

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2026-03-27

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