多孔碳化硅陶瓷吸盘在面板光刻机应用性能数据集

多孔碳化硅陶瓷吸盘在面板光刻机应用性能数据集面型研制的碳化硅多孔陶瓷目标产品搭载于国产面板光刻机工件台分系统开展全面应用考核，基于应用考核测试过程中产生的数据，数据集包含碳化硅多孔陶目标产品应用性能测试相关数据，共包括2个二级文件，其中：(1) 01G5用户报告，数据量1.99Mb；(2)02G2用户报告，数据量4.69Mb。