多孔碳化硅陶瓷吸盘在面板光刻机应用性能数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-04-04 收录
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资源简介：
多孔碳化硅陶瓷吸盘在面板光刻机应用性能数据集面型研制的碳化硅多孔陶瓷目标产品搭载于国产面板光刻机工件台分系统开展全面应用考核，基于应用考核测试过程中产生的数据，数据集包含碳化硅多孔陶目标产品应用性能测试相关数据，共包括2个二级文件，其中：(1) 01G5用户报告，数据量1.99Mb；(2)02G2用户报告，数据量4.69Mb。
提供机构：
上海微电子装备（集团）股份有限公司
