单晶压电薄膜异质集成衬底材料表征数据
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
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资源简介：
单晶压电薄膜异质集成衬底材料主要面向无线通信系统和中高端射频滤波器件的发展需求，本数据集基于超景深三维显微镜、原子力显微镜（AFM）、扫描电子显微镜（SEM）、声学扫描显微镜（SAM）、X射线衍射（XRD）及平坦度测试仪等设备产生，主要记录了压电薄膜的厚度、面内不均匀性、表面粗糙度、表面键合孔洞、单晶质量和压电异质晶圆总厚度偏差（TTV）、翘曲度（WARP）和弯曲度（BOW）等测试值与测试报告，数据量约为43.6MB。
提供机构：
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
