硅基激光器阵列制备工艺数据
收藏国家基础学科公共科学数据中心2024-03-05 收录
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资源简介：
本数据集主要面向硅基激光器阵列制备工艺研究。硅基激光器制备工艺复杂，需要制定科学的流片工艺过程，经过III-V族有源区的流片和硅波导部分的CMOS流片之后，再结合两部分进行集成的制备。主要记录了关键的工艺流程及制作的芯片图片。
提供机构：
中国科学院半导体研究所
