MiniLED巨量转移机器人直进精度和干涉仪补偿重复定位精度

Mini LED芯片巨量转移设备直进精度测试数据集主要面向新型显示制造中高精度芯片转移对设备部件与部件间的高精度直进精度需求建设，基于设备系统设计方案、核心部件设计、设备组装工艺设计。数据集记录了设备关键部件激光准直数据，关键运动轴激光干涉仪数据，整机关键部件间过程检测指标与检测结果。涵盖2022年10月至2026年6月期间2台样机实验测试结果，数据以Excel、图片、log格式存储，文件容量约5MB。本数据集通过过程检测数据保障Mini LED芯片巨量转移设备应用转移定位精度达成，是2022YFB4701005-001 数据的支撑数据。