8英寸MEMS传感器定制化聚酰亚胺薄膜核心结构参数数据集

PI薄膜作为结构层或牺牲层材料，可以实现精细微纳结构的无损释放，在惯性、压力、温度、光学等MEMS器件中具有广泛的应用。本数据集含有8英寸MEMS传感器定制化聚酰亚胺薄膜的牺牲层厚度和横向释放宽度核心结构参数，时间范围为2021年–2024年，是在英格尔检测技术服务（上海）有限公司现场监督下，依据测试大纲在上海新微技术研发中心有限公司八寸线洁净室测试所得。采用专业仪器与软件对数据进行测试和处理，最终获得了项目指标要求范围内牺牲层厚度平均值、最大值和最小值；PI薄膜横向释放宽度。本数据集为8英寸MEMS传感器定制化聚酰亚胺薄膜核心结构参数，为聚酰亚胺薄膜的制造工艺优化、性能表征等方面有着重要的指导意义。