热流传感器第一性原理仿真和尺寸测试数据集

该数据集主要面向项目研究内容1“多元热工量在线传感器微型敏感元件设计与制备方法”的相关研究，基于新型热流传感器的设计研究需求建设，基于GB/T1958-2017产品几何技术规范（GPS）几何公差检测与验证、JY/0584-2020《扫描电子显微镜分析方法通则》标准方法等约定的条件，以及扫描电镜（GeminiSEM300）；多功能坐标测量机（JGT-65），COMSOL Multiphysics（瑞典），存储式数字示波器等设备与软件产生，所有测试样品由实验室自行研制。实验数据由试验人员和分析人员根据具体的实验方案在实验过程中采集。检测结果为多区域分析的平均值，本实验为微区半定量分析，用多功能坐标测量机测量长和宽，在直径10mm薄膜区中台阶仪测试薄膜不同位置的厚度（9点测试），然后计算均性。测试环境为：室温，常压。测试方法按照GB/T1958-2017产品几何技术规范（GPS）几何公差检测与验证，JY/0584-2020《扫描电子显微镜分析方法通则》。以第三方报告形式体现，通过有资质的第三方机构测试，保证科学数据质量。基于第一性原理计算的热电仿真数据是基于目标材料晶体结构构建晶胞/超胞模型，选取泛函与计算参数，结合玻尔兹曼输运方程求解，提取结构优化与热输运性能数据，通过仿真软件进行第一性原理热电仿真分析。主要记录了对热流传感器敏感单元尺寸和敏感薄膜膜厚均匀性进行测试、对基于第一性原理计算的热电仿真进行计算等内容数据，数据量13.3 MB。对应指标2.1敏感单元尺寸（≤1cm×1cm×5μm）、指标2.2敏感薄膜厚度均匀性（薄膜均匀度≤8%），内含2个说明文件，2个表（6个分表）、1个第三方测试报告，7个图，2个元数据信息表，6个图。该数据集薄膜尺寸的表征与基于第一性原理的材料微观特性分析，可实现对薄膜制备的优化，提升薄膜的均匀性、致密性，提高热流传感器在钢铁冶金极端工况下的稳定性，进而实现对冶金过程中热流变化的精准测量。