高速硅光调制器版图

如今，市场对5G无线通信、云计算、数据中心等业务是需求急剧增长，超高速和超大容量的光传输技术是解决通信流量爆炸式增长的重要手段。其中硅光子技术在最近几年飞速发展，正迅速地从科研领域走向产业化，一定程度上解决光器件带宽、尺寸、集成度、功耗和成本的问题。本项目基于马赫-曾德尔干涉仪结构，实现高速调制器的设计，通过改变PN结中自由载流子的密度来调节干涉仪中一个臂的有效折射率，从而改变两个臂的干涉来实现光开关效应。马赫-曾德尔调制器的带宽与插损可通过调节PN结的结构与掺杂来进行优化。这些器件的设计都是基于一个对工艺要求低，成品率高的集成生产流程与平台，为以后项目的量产提供了很好的基础。