一种单晶钻石薄膜的制备方法
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资源简介：
本申请提供一种单晶钻石薄膜的制备方法，
包括以下步骤：获取钻石衬底和异质衬底；对钻
石衬底的表面进行He离子注入，使注入的离子在
钻石衬底相应的深度下聚集形成缺陷层，将钻石
衬底中缺陷层之上的钻石薄膜作为同质外延的
衬底；采用同质外延在钻石薄膜上生长一层单晶
钻石薄膜；将单晶钻石薄膜与异质衬底键合，形
成键合结构；对键合结构进行湿法腐蚀或电化学
腐蚀，将缺陷层去除，使钻石薄膜转移至异质衬
底表面；
提供机构：
上海微系统与信息技术研究所
创建时间：
2023-05-23
