电光调制器光纤基底（悬芯光纤）制备系统数据集

该数据集主要来源于电光调制器光纤基底（悬芯光纤）制备研究，内容包括任务书约定的光纤基底插入损耗≤0.2dB、光纤基底纤芯直径≤1.2μm、光纤基底“开窗”长度≥200μm、光纤基底“开窗”尺寸误差≤5μm的考核指标。悬芯光纤作为光纤电光调制器的基底，主要通过拉锥系统拉锥制备悬芯结构，然后通过飞秒激光蚀刻“开窗”制备，为了保证后续实验中器件的调制效果，需要对悬芯光纤的性能参数进行测试，主要利用光谱分析仪、光学显微镜和扫描电镜等仪器，分别记录悬芯光纤的透射光谱确定插入损耗，悬芯光纤截面形貌尺寸和光纤开窗形貌尺寸等数据，数据容量约为347MB。