极紫外光刻工作组会议报告：现状、需求和前进道路

该报告是2023年4月25日在科罗拉多州博尔德市国家标准与技术研究所（NIST）举行的混合工作组会议的报告。该工作组专注于极紫外光刻（EUVL）的研究、开发和制造。会议就欧盟VL的许多技术方面进行了富有成效的讨论。行业参与者的演讲有助于为本报告概述EUVL加速创新的科学现状、挑战、需求和未来机遇。该报告还包括NIST可能开始或继续支持美国半导体行业的一些努力的信息。在工作组会议上集中展示NIST的一些研究和能力，为外部利益相关者提供了可见性和发表评论的机会。对于了解NIST研究能力的行业参与者来说，这次会议很有见地。反过来，NIST的研究人员对行业的需求有了更深入的了解，以确定NIST的计量专业知识可以在哪里帮助EUVL研究。会议和本报告并不是也不是为了捕捉EUVL行业的整体观点，而是作为讨论的起点。未来的工作包括扩大参与，根据EUVL的具体需求完善NIST研究小组，并执行工作小组会议或任何未来会议中讨论的优先研究。希望通过与美国EUVL行业的合作，建立有针对性的研究合作，加快半导体制造创新，为美国纳税人创造有意义的价值。