晶体薄片面型精度与表面完整性协调控制方法数据集

本数据集收集了2022年11月至2025年10月期间研究激光晶体超精密加工中机理、表面质量与面型精度协调控制方法的相关数据。围绕增益器件对晶体薄片表面质量与面型精度的要求，旨在明确超精密磨削与光化学机械抛光中的材料去除机理，解决激光晶体容易产生加工损伤、加工时间长导致晶片面型精度恶化等问题。数据集涵盖了激光晶体力学性能参数检测、材料去除机理分析、损伤形成机制、光化学机械抛光材料去除机理、晶片加工表面质量与面型精度控制等相关数据。数据集为明确激光晶体薄片高精度高表面完整性加工提供了一定的数据支持，为新一代激光增益器件制备提供关键部件与理论技术支撑。