超导谐振腔测试

该数据集包含的数据主要是多种材料体系（铝膜+蓝宝石衬底、铝膜+硅衬底、铝膜+蓝宝石衬底、铝膜+硅衬底）制备的超导平面微波谐振腔器件极低温测试数据，通过该数据可以表征材料的本征微波损耗和噪声水平，同时也为优化材料生长方式和器件加工方式提供方向指导，最终获得最佳超导材料体系。