Se源与金属源及其设备的设计与优化仿真模拟数据集

本数据集针对大面积CIGS吸收层沉积的关键设备中Se源结构以及Se与金属源共蒸发设备结构设计，采用PEGASUS仿真软件物理建模验证，建立多物理场耦合偶模型获得验证数据。通过三维建模，并开展热场分析以及利用直接蒙特卡洛方法模拟蒸发粒子碰撞和输运过程，输出中性粒子密度、温度、流速、能量分布等参数，统计粒子的压强、平均自由程、流场分布等参数。