<p>EDX analysis of AlN: ZnO films at different RF powers on Si substrates.</p>

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NIAID Data Ecosystem2026-05-10 收录

AlN:ZnO薄膜表征

RF功率对薄膜成分影响

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EDX analysis of AlN: ZnO films at different RF powers on Si substrates.

创建时间：

2025-12-17

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