氧化铝陶瓷导轨部件产品性能数据集

本数据集主要包含本项目研发的大行程氧化铝陶瓷导轨产品的产品设计过程和图纸，G5和G6面板光刻机用陶瓷导轨的研制和加工过程照片、视频和数据，产品检测过程照片、视频和产品性能测试数据，以及产品尺寸包括长度、直线度等的测试数据，数据量为501.5MB，由项目参与单位中国科学院上海硅酸盐研究所、山东硅元新型材料股份有限公司、上海微电子装备（集团）股份有限公司和季华实验室以及委托的第三方测试机构采用有限元分析软件、大尺寸成型模具、冷等静压机、恒温恒湿房、雕铣机、电炉、万能材料试验机、维氏硬度计、扫描电子显微镜、高精度三坐标测量机、干涉仪、表面粗糙度仪、电子水平仪和相机等仪器设备制备、测量和采集数据，原始图表有Excel、Word、txt、pdf、jpeg、png、gif、mp4、mov等格式文件组成，后经Origin、Photoshop和Office等软件整理并绘制完成。