磁控溅射TaSapphire样品材料表征数据

该数据集包含的数据主要是通过多种材料表征手段（原子力显微分析、X射线衍射）表征通过磁控溅射的方式在蓝宝石衬底上制备的高品质铝薄膜特性，通过该数据集可以指导对材料生长过程中参数的优化，有利于寻找更高品质的材料体系。