面向高端抛光应用的高纯纳米稀土氧化物制备技术及装备数据集

针对光学玻璃以及硅晶圆抛光对稀土氧化物纯度和特殊物性的要求，本数据集围绕“高纯及特殊物性稀土化合物材料制备关键技术与装备”课题中面向高端抛光应用的纳米稀土氧化物制备技术与装备的研究，系统汇集了微纳米铈镧钇复合氧化物制备与抛光性能评价、高纯纳米氧化铈制备与抛光性能、扫帚状铈基前驱体的合成与纳米氧化铈制备实验数据。主要记录了原料成分与制备工艺参数：通过单因素试验考察各影响因素对产品制备过程中的影响，包括加料配比、反应温度、陈化温度、陈化时间等，揭示各因素对制备过程的影响规律。形态与结构表征数据：包括不同试样的扫描电子显微镜（SEM）照片、透射电子显微镜（TEM）照片、表面zeta电位、粒度和粒度分布等，用于揭示形貌结构、表面特征演变规律。抛光性能数据：包括材料去除速率和抛光前后表面粗糙度测试等。数据量约为1.99GB。