新一代背照式3D堆叠工艺开发与像素设计的晶圆堆叠层数测试数据

采集数据使用的设备主要为红外光谱仪测量仪器、薄膜量测机、扫描电子显微镜以及计算机。通过红外光谱仪测量相关工艺加工后的厚度和平坦度，薄膜量测机测量ARC沉积厚度的均匀性，以及扫描电子显微镜对工艺表面和断面形貌的扫描。