自对准围栅硅纳米线器件数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
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资源简介：
2016YFA0200504-002--自对准围栅硅纳米线器件数据集主要基于利用光子束光刻技术的三维曝光能力实现自对准围栅硅纳米线器件的研制需求建设，基于对围栅纳米线器件结构设计、工艺制备和应用研究，主要记录了非对称围栅硅纳米线器件的模拟及建模数据，三维微纳结构：多晶硅悬空纳米线及纳米线上围栅结构制备实验数据，围栅硅纳米线器件集成工艺实验数据和性能测试数据。
提供机构：
北京大学
