光栅位移测量装置

一种光栅位移测量方法，其特征在于，包括如下步骤：S1、将光源发出的线偏振光垂直入射到测量光栅的表面，并将衍射后产生携带测量信息的±1级衍射光入射至两组分束结构；S2、通过两组分束结构对±1级衍射光进行分束，产生相位为0°、90°、180°、270°的四路干涉信号传输到光电接收模块；S3、通过所述光电接收模块接收四路干涉信号，在进行光电转换后传输到信号处理系统；S4、通过所述信号处理系统用于对四路干涉信号进行相移计算，获得所述测量光栅的位移量。