根据波前调制数学模型仿真的硅基MEMS高深宽比结构相干信号数据

本数据集主要包含采用Lumerical Ansys FDTD电磁场仿真软件及Matlab软件仿真得到的不同深宽比的MEMS沟槽的调制相干信号数据。所有数据首先通过数值求解Maxwell差分方程组得到矢量的探测光场数据（采用Lumerical Ansys FDTD电磁场仿真软件进行运算），然后对矢量光场数据进行相干相加、积分运算（采用Matlab软件进行运算）所求得。