同质生长p型AlGaN薄膜中的空穴浓度数据集

数据集包括研究衬底材料中的缺陷、杂质对外延结构和界面特性的影响和Mg掺杂量对p型AlGaN薄膜的影响以及在AlN衬底上进行外延AlN和AlGaN薄膜和p型掺杂过程中产生的表征测试结果数据及p型AlGaN外延薄膜的空穴浓度，其中数据文件夹的名称为数据内容对应的测试表征名称。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集聚焦于同质生长p型AlGaN薄膜，包含了研究衬底材料缺陷、杂质对外延结构和界面特性的影响，以及Mg掺杂量对p型AlGaN薄膜性能影响的表征测试结果。数据涵盖在AlN衬底上进行外延和p型掺杂过程中的测试数据，并提供了p型AlGaN外延薄膜的空穴浓度值，各数据文件夹以对应的测试表征名称命名。