体声波滤波器制备工艺研究数据集

数据集主要面向体声波谐振器滤波器工艺研发、器件性能提升与集成需求建设，基于微纳工艺实验平台产生，主要记录了电极层与压电层工艺，光刻和刻蚀工艺，负载加工等微结构工艺研究数据、非金属键合工艺研究数据以及器件性能优化工艺研究数据，具体包括电极、压电层、微结构、负载、光刻以及刻蚀等工艺研究下的数据、工艺优化后的SABAR谐振器性能测试数据、非金属键合工艺研究数据以及SABAR滤波器能量损耗优化工艺研究数据。由项目参与单位华南理工大学与广州艾佛光通科技有限公司以及委托的第三方测试机构采用XRD、SEM、AFM、膜厚仪、应力测试仪及矢量网络分析仪等仪器设备测量和采集数据，原始数据及图表包含S2P、jpg、xlsx、FLT等格式，数据体量为6.23GB。