高沸点氯硅烷催化裂解技术与设备
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资源简介：
随着石油、煤等自然资源的不断枯竭，以多晶硅为原料的太阳能、燃料电池等新能源日益受到人们的青睐，从而使得多晶硅产业得到了快速的发展。改良西门子法生产多晶硅是目前唯一大规模的工业多晶硅生产技术，其中流化床冷氢化装置转化副产物四氯化硅是重要的工艺流程单元，在该生产过程中，会产生相当量的氯硅烷残液，其成分包括单硅烷、硅粉等固体杂质和高沸物等。通过过滤、 分离、精馏等手段，可以回收大部分的单硅烷（主要包括二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅），硅粉等固体杂质也可以进行综合处理，但高沸物的结构复杂，且成分不确定，通过简单的有机分离无法实现转化利用。高沸物的不断积聚或积压,会造成企业生产成本增加和环境污染等问题,阻碍着多晶硅行业的发展。高沸物约占氯硅烷残液的15%，因此通过催化裂解法处理氯硅烷高沸物，实现氯硅烷高沸物的无害化化处理和资源化利用十分重要。基于对氯硅烷高沸物的研究，主要记录了氯硅烷高沸物的检测结果，氯硅烷气相、固相催化裂解等实验实验结果，数据量22MB
提供机构：
中国石油大学（北京）
