РЭМ, АСМ и РФЭС/ОЭС ИССЛЕДОВАНИЕ КВАРЦА, ПОСЛЕДОВАТЕЛЬНО ИМПЛАНТИРОВАННОГО ЦИНКОМ И ФТОРОМ

В настоящее время наночастицы (НЧ) оксидов металлов в прозрачным матрицах широко изучаются изза их возможного применения в микроэлектронных устройствах. Особый интерес представляют НЧ оксида цинка, поскольку ZnО является прямозонным материалом с шириной запрещенной зоны 3.37эВ и имеет большую энергию связи в экситона 60мэВ. Обычно НЧ оксида цинка в кварце создаются с помощью имплантации Zn и термического окисления. В настоящей работе исследуются структура и химический состав кварца, последовательно имплантированный ионами Zn и F и отжигом в инертной среде.