根据波前调制数学模型仿真的硅基MEMS高深宽比结构光瞳面波前相位数据

对不同结构和条件下的MEMS沟槽和TSV硅通孔采用数值仿真的方法，从麦克斯韦方程组出发，求解出样品的近场光场（沟槽的光瞳像差仿真由FDTD软件建模，TSV孔的光瞳像差仿真由COMSOL软件建模）；接着采用MATLAB软件基于角谱衍射理论对样品的近场光场进行远场传输，得到样品的光瞳面相位分布数据；对此相位分布数据进行泽尼克多项式拟合，最终得到泽尼克系数拟合结果。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集通过数值仿真方法，对硅基MEMS高深宽比结构（如沟槽和TSV孔）进行建模，基于麦克斯韦方程组和角谱衍射理论计算得到光瞳面波前相位分布。最终数据以泽尼克多项式拟合系数的形式呈现，用于表征波前相位特征。