建立大尺寸反应室热力学和动力学模型

采用理论分析-试验-数值模拟方法，建立晶体生长全过程模型，优化热场、流场、浓度场等的多场耦合模型，研究生长室内物理场的演变规律及其对生长过程的作用机制，研究籽晶和原料表面之间的多相反应模型、自由分子质量输运模型、加热及传热模型。设计和构造稳定有利的扩径单晶及大尺寸单晶生长环境。主要记录了检测报告、图集合集、支撑数据、专利等观测值。数据量为数据量为25.6MB。