加工激光焦点实时校正数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
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https://nbsdc.cn/general/dataDetail?id=674240f5195d262b8b446a2c&type=1
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资源简介：
预留切割道中心位置、激光入射表面的平整度、加工激光焦点深度位置等信息的采集流程说明；在线监控软硬件系统关键数据控制流程：包括光束中心与预留切割道中心的偏移量、SiC外延片上下表面差分量、加工激光焦点深度变化量等软件设计说明书数据。
提供机构：
湖南大学
