片上集成光器件研究数据集

研究人员针对片上集成无源器件进行深入研究，研究包括面向片上高功率应用的偏振分离器、片上偏振不敏感的光功率耦合器、片上具有均衡分光功率的1×N集成耦合器等。通过COMSOL Multiphysics/ FDTD Solutions/ Matlab等软件通过计算模拟优化参数得到的数据。研究人员为了获得超低损耗的氮化硅波导，采用了大马士革工艺来制备氮化硅波导，在沉积完氮化硅波导后，会将整个器件进行CMP抛光处理。为此开发了一项新的CMP优化工艺，针对不同设计宽度的氮化硅波导需考虑不同的开槽宽度。