高临界电流密度（Jc）集成工艺开发参数

高Jc意味着高工作频率，制备高Jc约瑟夫森结对于提升SFQ电路速度具有重要意义。约瑟夫森结工艺中 ，最为关键的是对其Jc进行精确控制。对各个单元工艺进行全面优化，调控氧化条件，获得了不同Jc约瑟夫森结。通过优化氧分压等势垒层单元工艺，制备出高临界电流密度约瑟夫森结，制备获得稳定的高质量高Jc约瑟夫森结。测试约瑟夫森结的回滞I-V曲线和并联电阻约瑟夫森结的非回滞I-V曲线，统计不同面积约瑟夫森结和并联电阻后的结的临界电流，计算获得相应临界电流密度。完成了指标要求，为后续大规模高速超导集成电路的制备奠定了工艺基础。